SEM/FIB双束系统及其截面加工技术
扫描电子显微镜（SEM）与聚焦离子束（FIB）结合形成的双束系统，是现代微纳加工与材料分析领域中一种高度集成的多功能仪器平台。该系统通过在同一真空腔体内集成电子束与离子束两套独立的成像与加工系统，实现了对样品从微观观测到纳米级加工的全流程操控。
束流
HIAF，这个目前国际上规模最大的全离子加速器在惠建成！
10月28日，位于惠州市惠东县黄埠镇的国家重大科技基础设施、中国科学院“两大科学装置”之一的强流重离子加速器装置（HIAF）调试成功，实现束流全线贯通，标志着HIAF全面建成。
加速器 束流 黄埠镇 中国科学院近代物理研究所 hiaf 2025-10-29 18:36 2
国际上规模最大！强流重离子加速器装置在惠州建成
10月28日，位于惠州市惠东县黄埠镇的国家重大科技基础设施、中国科学院“两大科学装置”之一的强流重离子加速器装置（HIAF）调试成功，实现束流全线贯通，标志着HIAF全面建成。